Synthesis and Characterization of Tris(β‐ketoiminato)ruthenium(<scp>III</scp>) Complexes: Potential Precursors for CVD of Ru and RuO<sub>2</sub> Thin Films
Notice bibliographique
Résumé
Abstract The synthesis and characterization of Ru III metal complexes [Ru(keim1) 3 ] ( 1 ) and [Ru(keim2) 3 ] ( 2 ) are reported, where (keim)H is an abbreviation for the fluorinated ketoimine ligands with formula HOC(CF 3 )=CHCR=NMe; (keim1)H with R = Me and (keim2)H with R = CF 3 . These newly synthesized complexes were characterized by spectroscopic methods, while the second complex, 2 , was further examined by single‐crystal X‐ray diffraction (XRD), revealing an octahedral coordination for the Ru cation, with three ketoiminate arranged in a mer ‐configuration, a consequence of the enhanced steric interaction between ligands. Moreover, both Ru metal complexes show good volatility and thermal stability. CVD experiments were conducted using these complexes at temperatures of 325–450 °C. The Ru metal and RuO 2 thin films on silicon wafers were successfully obtained using either a mixture of 2 % O 2 in argon or pure O 2 as the carrier gas, respectively. Our result shows that a 2 % O 2 concentration induces the formation of Ru metal, while that only complex 1 gives formation of a columnar RuO 2 phase upon switching to pure O 2 as the CVD carrier gas. Scanning electron microscopy (SEM) images were taken to reveal surface morphologies, while X‐ray photoelectron spectroscopy (XPS) and XRD were utilized to access their atomic composition as well as the intrinsic packing of the as‐deposited thin film materials.
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Comment cette classification a été obtenuedéplier
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Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Apprise à partir de 10 348 étiquettes directes de Codex et de 10 348 étiquettes directes de Gemma. Le mode candidate est l'union des têtes enseignantes seuillées; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont ni des étiquettes humaines ni des étiquettes directes de modèles de pointe.
Scores Codex et Gemma par catégorie
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,000 | 0,000 |
| Bibliométrie | 0,000 | 0,000 |
| Études des sciences et des technologies | 0,000 | 0,000 |
| Communication savante | 0,000 | 0,000 |
| Science ouverte | 0,000 | 0,000 |
| Intégrité de la recherche | 0,000 | 0,000 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,000 | 0,000 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.
score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découleClassification
machine, non validéePrédiction automatique; un appel candidat d’une seule tête enseignante, pas un consensus.
Le détail, modèle par modèle et score par score, se trouve en fin de page sous « Comment cette classification a été obtenue ».