Sub-spot-size CO 2 laser micromachining of features in fused silica by V-groove etching
Notice bibliographique
Résumé
ABSTRACT Ablation of fused silica using the Gaussian irradiance profile of the TEM 00 mode of a CO 2 laser is a very efficient wayfor micromachining features up to ten times smaller than the beam diameter. A series of laser-etched V-groovessequentially shifted in a given fashion can be used to micromachine simple or structured patterns on the surface of fusedsilica substrates. Surface gratings with a periodicity of 12 µm were produced using a CO 2 laser beam of 100 µm (1/e 2 )in diameter. Rectangular wells 50 µm wide and 50 µm deep were also micromachined using the same technique with aradius of curvature of roughly 8 µm at the bottom edges. Although the resolution of the periodic pattern is not fullyunderstood, it appears to be partly governed by the amount of material removal by the top portion of the Gaussian beam(tip processing), as well as a carefully controlled shifting of the etched V-grooves on the fused silica substrate. Physicalmechanisms that could be at the origin of the V shape of the grooves are also discussed.Keywords: Laser ablation, laser micromachining, laser proce ssing, laser etching, fused silica, surface gratings
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Comment cette classification a été obtenuedéplier
Prédiction distillée sur la base complète
Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Apprise à partir de 10 348 étiquettes directes de Codex et de 10 348 étiquettes directes de Gemma. Le mode candidate est l'union des têtes enseignantes seuillées; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont ni des étiquettes humaines ni des étiquettes directes de modèles de pointe.
Scores Codex et Gemma par catégorie
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,001 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,001 | 0,000 |
| Bibliométrie | 0,000 | 0,000 |
| Études des sciences et des technologies | 0,000 | 0,000 |
| Communication savante | 0,000 | 0,001 |
| Science ouverte | 0,001 | 0,000 |
| Intégrité de la recherche | 0,000 | 0,001 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,000 | 0,000 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.
score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découleClassification
machine, non validéePrédiction automatique; un appel candidat d’une seule tête enseignante, pas un consensus.
Le détail, modèle par modèle et score par score, se trouve en fin de page sous « Comment cette classification a été obtenue ».