Fabrication of nanoelectromechanical systems via the integration of high surface area glancing angle deposition thin films
Notice bibliographique
Résumé
Nanoelectromechanical systems (NEMS) coated with a high surface area thin film are fabricated. Glancing angle deposition (GLAD) is used to uniformly deposit high surface area, nanostructured SiO2 films on top of released NEMS. The resonance frequencies and quality factors are measured to assess the potential of the high surface area NEMS for sensing experiments. Resonance frequencies of coated cantilevers, although reduced by mass loading, can be predicted accurately using our derived model. Compressive stress makes the resonance frequencies of coated doubly-clamped beams difficult to predict. The quality factors of the coated NEMS are reduced by one order of magnitude by a quasi-continuous layer at the base of the GLAD film, which also introduces an estimated compressive stress of 5.3-9.3 MPa. The limit of detection is demonstrated to be ∼2 pg cm-2. With this successful proof-of-concept demonstration, we anticipate the future use of these devices as high surface area gravimetric mass sensors for applications such as gas chromatography.
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Comment cette classification a été obtenuedéplier
Prédiction distillée sur la base complète
Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Apprise à partir de 10 348 étiquettes directes de Codex et de 10 348 étiquettes directes de Gemma. Le mode candidate est l'union des têtes enseignantes seuillées; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont ni des étiquettes humaines ni des étiquettes directes de modèles de pointe.
Scores Codex et Gemma par catégorie
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,001 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,000 | 0,000 |
| Bibliométrie | 0,000 | 0,000 |
| Études des sciences et des technologies | 0,000 | 0,000 |
| Communication savante | 0,000 | 0,000 |
| Science ouverte | 0,000 | 0,000 |
| Intégrité de la recherche | 0,000 | 0,000 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,000 | 0,000 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.
score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découleClassification
machine, non validéePrédiction automatique; un appel candidat d’une seule tête enseignante, pas un consensus.
Le détail, modèle par modèle et score par score, se trouve en fin de page sous « Comment cette classification a été obtenue ».