Polarization charge properties of low-temperature atomic layer deposition of AlN on GaN
Notice bibliographique
Résumé
Low-temperature (<250 °C) plasma-enhanced atomic layer deposition (PEALD) is used to fabricate aluminum nitride (AlN)/gallium nitride (GaN) heterojunctions for tunnelling contacts in devices where selective contacts are required, such as GaN metal–oxide semiconductor field-effect transistors. AlN is grown on GaN templates with via low-temperature plasma-enhanced ALD, and compared in order to extract their surface two-dimensional electron gas concentration. A peak electron density of >2 × 1013 cm−2 was observed for an approximately 4.5 nm AlN thickness on GaN wafers with a higher initial doping concentration while for the lightly doped GaN samples, a peak carrier concentration of 1.9 × 1013 cm−2 was observed for a thickness of 5.7 nm AlN. Polarization is strongest near the AlN critical thickness of strain relaxation for low-temperature deposition methods. This suggests that greater initial dopant concentrations are more conducive to enhanced polarization characteristics under these low growth temperatures because the critical thickness is realized at lower thicknesses. This approach also yields a low contact resistance of 0.45 Ω mm with Al contacts.
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Comment cette classification a été obtenuedéplier
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Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Apprise à partir de 10 348 étiquettes directes de Codex et de 10 348 étiquettes directes de Gemma. Le mode candidate est l'union des têtes enseignantes seuillées; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont ni des étiquettes humaines ni des étiquettes directes de modèles de pointe.
Scores Codex et Gemma par catégorie
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,001 | 0,000 |
| Bibliométrie | 0,000 | 0,000 |
| Études des sciences et des technologies | 0,000 | 0,000 |
| Communication savante | 0,000 | 0,000 |
| Science ouverte | 0,000 | 0,000 |
| Intégrité de la recherche | 0,000 | 0,000 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,000 | 0,000 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
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score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découleClassification
machine, non validéePrédiction automatique; un appel candidat d’une seule tête enseignante, pas un consensus.
Le détail, modèle par modèle et score par score, se trouve en fin de page sous « Comment cette classification a été obtenue ».