Precise surface profilometry based on low-coherence interferometry
Notice bibliographique
Résumé
Low coherence interferometry (LCI) can be used to measure the profile of industrial products, the measured sample being scanned under the LCI probe. Axial distance measurements are made using the light reflected by the surface and collected on the same optical axis used for its illumination. Therefore, when the transverse resolution is not an issue, only a narrow laser beam is required and hard-to-reach surfaces can be probed with axial accuracy in the range of 1μm. With other techniques such as triangulation the surface requires to be visible from another point-of-view and complex shapes often become inaccessible. When the LCI instrument is assembled with optical fibers, delicate instrumentation may be kept away from harsh environments and only a single optical fiber needs to get close to the measurement location. However, optical fibers are particularly sensitive to temperature and a reference is required to compensate for path length drifts. Furthermore, industrial mechanical displacement systems typically induce positioning errors much larger than the LCI instrument accuracy. One approach to circumvent these problems consists in measuring the location of another surface close to the region of interest. Such a reference surface is not always available and typically requires a second probe. We found a more practical approach by using an optical quality window located over the sample surface and moving with the sample. The laser beam from the LCI instruments travels across the window just before it reaches the samples surface. The window surface induces a first reflection (4% of the incident power) and its distance is measured by the LCI as well as the sample surface distance. Since the location of the window is fixed relative to the sample while the entire surface is scanned, out-of-plane movement of the motorized slide is compensated. High-resolution measurements are obtained by simply subtracting the window plane from the sample surface.
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Comment cette classification a été obtenuedéplier
Prédiction distillée sur la base complète
Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Apprise à partir de 10 348 étiquettes directes de Codex et de 10 348 étiquettes directes de Gemma. Le mode candidate est l'union des têtes enseignantes seuillées; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont ni des étiquettes humaines ni des étiquettes directes de modèles de pointe.
Scores Codex et Gemma par catégorie
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,001 | 0,001 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,000 | 0,001 |
| Bibliométrie | 0,000 | 0,001 |
| Études des sciences et des technologies | 0,000 | 0,000 |
| Communication savante | 0,000 | 0,001 |
| Science ouverte | 0,002 | 0,000 |
| Intégrité de la recherche | 0,000 | 0,000 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,000 | 0,000 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.
score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découleClassification
machine, non validéePrédiction automatique; un appel candidat d’une seule tête enseignante, pas un consensus.
Le détail, modèle par modèle et score par score, se trouve en fin de page sous « Comment cette classification a été obtenue ».