MétaCan
Menu
Retour à la cohorte
Enregistrement W2022243882 · doi:10.1109/jmems.2015.2392692

A 3-DOF MEMS Electrostatic Piston-Tube Actuator

2015· article· en· W2022243882 sur OpenAlex
Faez Ba-Tis, Ridha Ben-Mrad

Pourquoi ce travail est dans la base

Une base qui oublie comment elle a trouvé un travail ne peut pas être vérifiée. Voici les voies qui ont admis celui-ci.

affAu moins un auteur déclare une institution canadienne dans l'instantané OpenAlex épinglé.

Notice bibliographique

RevueJournal of Microelectromechanical Systems · 2015
Typearticle
Langueen
DomaineEngineering
ThématiqueAdvanced MEMS and NEMS Technologies
Établissements canadiensUniversity of Toronto
Organismes subventionnairesnon disponible
Mots-clésActuatorMicroelectromechanical systemsMaterials sciencePiston (optics)WaferStiffnessFabricationPneumatic actuatorMechanism (biology)Tube (container)Silicon on insulatorTranslation (biology)Rotation (mathematics)Comb driveMechanical engineeringOptoelectronicsOpticsComposite materialSiliconElectrical engineeringPhysicsEngineeringComputer science

Résumé

récupéré en direct d'OpenAlex

A three-degrees-of-freedom microelectromechanical systems (MEMS) electrostatic actuator was developed, fabricated, and tested. The actuator utilizes a piston-tube configuration that enables the use of electrodes with a wide area. Therefore, a large output force can be generated. The actuator also utilizes a flexure mechanism in which the in-plane (x-y) stiffness is high compared with the out-of-plane (z-axis) stiffness. This flexure mechanism enables a large translation stroke along the z-axis before experiencing lateral pull-in instability. A prototype of the actuator was able to achieve a pure translation (piston-style motion) of 28 μm at 80 V and an angle of rotation of 0.78° at 70 V. A mass of 1 mg was translated 24 μm at 80 V, indicating the ability of the actuator to provide high output force. The actuator was fabricated using the Micralyne MicraGEM-Si MEMS fabrication process, in which the pistons and tubes are fabricated in the device layers of two bonded Silicon on insulator (SOI) wafers. The misalignment between the pistons and the tubes using this process was ~0.005 of the gap between adjacent pistons and tubes. This amount of misalignment leads to a negligible lateral instability effect.

Récupéré en direct depuis OpenAlex et désinversé. Les résumés ne sont pas conservés dans cette base de données : les index inversés représentent 8,6 Go des 9,3 Go de texte de la base, et le serveur dispose de 13 Go libres.

Prédiction distillée sur la base complète

Imitation des enseignants

Ni prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Apprise à partir de 10 348 étiquettes directes de Codex et de 10 348 étiquettes directes de Gemma. Le mode candidate est l'union des têtes enseignantes seuillées; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont ni des étiquettes humaines ni des étiquettes directes de modèles de pointe.

score de la tête « metaresearch » (Codex)0,001
score de la tête « metaresearch » (Gemma)0,000
Version: codex-gemma-dda1882f352aStatut de validation: machine_predicted_unvalidated
Catégories candidatesaucune
Catégories consensuellesaucune
DomaineSignal candidat: aucune · Signal consensuel: aucune
Devis d'étudeSignal candidat: Expérimental (laboratoire) · Signal consensuel: Expérimental (laboratoire)
GenreSignal candidat: Empirique · Signal consensuel: Empirique
Score de désaccord entre enseignants0,094
Score d'incertitude au seuil0,789

Scores Codex et Gemma par catégorie

CatégorieCodexGemma
Métarecherche0,0010,000
Méta-épidémiologie (sens strict)0,0000,000
Méta-épidémiologie (sens large)0,0010,000
Bibliométrie0,0000,000
Études des sciences et des technologies0,0000,000
Communication savante0,0000,000
Science ouverte0,0000,000
Intégrité de la recherche0,0000,001
Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger)0,0000,000

Scores machine (provisoires)

Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.

Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.

Tête enseignante Opus0,015
Tête enseignante GPT0,224
Écart entre enseignants0,209 · la distance entre les deux têtes enseignantes sur ce seul travail
Statut de validationscore_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découle