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Enregistrement W2042004883 · doi:10.1063/1.2060927

A kinetic model for the oxidation of silicon germanium alloys

2005· article· en· W2042004883 sur OpenAlexaff
Mohamed A. Rabie, Yaser M. Haddara, Jacques Carette

Notice bibliographique

RevueJournal of Applied Physics · 2005
Typearticle
Langueen
DomaineEngineering
ThématiqueSemiconductor materials and devices
Établissements canadiensMcMaster University
Organismes subventionnairesnon disponible
Mots-clésGermaniumSiliconOxidizing agentOxideMaterials scienceGermanium oxideAlloyDiffusionSilicon oxideInorganic chemistryAnalytical Chemistry (journal)MetallurgyChemistryThermodynamicsEnvironmental chemistryPhysicsOrganic chemistry

Résumé

récupéré en direct d'OpenAlex

We propose a complete model for the oxidation of silicon germanium. Our model includes the participation of both silicon and germanium atoms in the oxidation process and the replacement by silicon of germanium in mixed oxides. Our model is capable of predicting, as a function of time, the oxide thickness, the profile of the silicon in the underlying alloy, and the profile of germanium in the oxide. The parameters of the model vary with temperature, alloy composition, and oxidizing ambient. The model shows excellent agreement with published results, with model parameters following trends consistent with the physical phenomena hypothesized. The presence of germanium catalyzes both the silicon and the germanium oxidation rates, and all reaction rates increase with increasing temperature. The resulting effective oxidation rate is enhanced, with respect to the oxidation of pure silicon, at all germanium concentrations. Mixed oxides form only in the case of high germanium concentrations, but at high temperatures the rapid growth of a thick oxide results in a slowing of oxidant diffusion, and the oxide composition switches back to a pure silicon oxide.

Récupéré en direct depuis OpenAlex et désinversé. Les résumés ne sont pas conservés dans cette base de données : les index inversés représentent 8,6 Go des 9,3 Go de texte de la base, et le serveur dispose de 13 Go libres.

Comment cette classification a été obtenuedéplier

Prédiction distillée sur la base complète

Imitation des enseignants

Ni prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Apprise à partir de 10 348 étiquettes directes de Codex et de 10 348 étiquettes directes de Gemma. Le mode candidate est l'union des têtes enseignantes seuillées; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont ni des étiquettes humaines ni des étiquettes directes de modèles de pointe.

score de la tête « metaresearch » (Codex)0,000
score de la tête « metaresearch » (Gemma)0,000
Version: codex-gemma-dda1882f352aStatut de validation: machine_predicted_unvalidated
Catégories candidatesaucune
Catégories consensuellesaucune
DomaineSignal candidat: aucune · Signal consensuel: aucune
Devis d'étudeSignal candidat: Expérimental (laboratoire) · Signal consensuel: Expérimental (laboratoire)
GenreSignal candidat: Empirique · Signal consensuel: Empirique
Score de désaccord entre enseignants0,019
Score d'incertitude au seuil0,180

Scores Codex et Gemma par catégorie

CatégorieCodexGemma
Métarecherche0,0000,000
Méta-épidémiologie (sens strict)0,0000,000
Méta-épidémiologie (sens large)0,0000,000
Bibliométrie0,0000,000
Études des sciences et des technologies0,0000,000
Communication savante0,0000,000
Science ouverte0,0000,000
Intégrité de la recherche0,0000,000
Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger)0,0000,000

Scores machine (provisoires)

Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.

Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.

Tête enseignante Opus0,019
Tête enseignante GPT0,229
Écart entre enseignants0,211 · la distance entre les deux têtes enseignantes sur ce seul travail
Statut de validationscore_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découle

Classification

machine, non validée

Prédiction automatique; un appel candidat d’une seule tête enseignante, pas un consensus.

Les modèles n’ont appliqué aucune catégorie : rien dans la taxonomie ne correspondait à ce travail.
Devis d'étudeExpérimental (laboratoire)
Domainenon disponible
GenreEmpirique

Le détail, modèle par modèle et score par score, se trouve en fin de page sous « Comment cette classification a été obtenue ».

En bref

Citations43
Publié2005
Routes d'admission1
Résumé présentoui

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