Determination of spot size and acid diffusion length in positive chemically amplified resist for e-beam lithography at 100 and 5 kV
Notice bibliographique
Résumé
An experimental method to determine the beam spot size and the acid diffusion length of a positive chemically amplified electron-beam resist (p-CAR) is proposed. This method is applied to a reference p-CAR with a Vistec VB6 electron beam at 100 kV and with a MAPPER tool at 5 kV. Beam spot size characterization is based on the width measurement of a single line exposure. This procedure is applied to two specific dose ranges. In the first one, the chemical mechanism occurring in the exposed resist is dominated by acid catalytic deprotection of a partially protected polymer (standard process). In the second dose range, the chemistry is governed by the cross-linking mechanism due to the intentional overdose of the p-CAR, leading to a polarity inversion. The authors assume that comparing the results obtained with the standard and the cross-linked p-CAR enables the determination of the acid diffusion length of the p-CAR process. This hypothesis was verified with measurements performed with a nonchemically amplified process. A relationship between the best exposure latitudes achieved at 5 and 100 kV and the minimum spot sizes determined with the present method is observed with very high resolution grating exposures. In this work, a suitable method is proposed for fine resist process characterization.
Récupéré en direct depuis OpenAlex et désinversé. Les résumés ne sont pas conservés dans cette base de données : les index inversés représentent 8,6 Go des 9,3 Go de texte de la base, et le serveur dispose de 13 Go libres.
Comment cette classification a été obtenuedéplier
Prédiction distillée sur la base complète
Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Apprise à partir de 10 348 étiquettes directes de Codex et de 10 348 étiquettes directes de Gemma. Le mode candidate est l'union des têtes enseignantes seuillées; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont ni des étiquettes humaines ni des étiquettes directes de modèles de pointe.
Scores Codex et Gemma par catégorie
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,002 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,000 | 0,000 |
| Bibliométrie | 0,001 | 0,001 |
| Études des sciences et des technologies | 0,000 | 0,001 |
| Communication savante | 0,000 | 0,000 |
| Science ouverte | 0,000 | 0,000 |
| Intégrité de la recherche | 0,000 | 0,000 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,000 | 0,000 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.
score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découleClassification
machine, non validéePrédiction automatique; un appel candidat d’une seule tête enseignante, pas un consensus.
Le détail, modèle par modèle et score par score, se trouve en fin de page sous « Comment cette classification a été obtenue ».