Amorphisation and sub‐100‐nm exfoliation of hydrogen‐ion‐implanted silicon
Notice bibliographique
Résumé
Abstract The basic physics and the chemical role of H in amorphisation and exfoliation of H‐ion‐implanted silicon were investigated by Raman scattering and transmission electron microscopy. We found that a continuous, thermally stable, 50‐nm‐thick amorphous layer formed upon implantation of 5‐keV H ions at 150 K. Such amorphisation is contrary to earlier theoretical predictions but gives support to recent molecular dynamics calculations. After high temperature annealing, H‐saturated mono‐ and di‐vacancies became dominant in the Si‐H Raman spectrum. (001) platelets and microcracks apppeared in the c‐Si beyond the a‐Si layer, leading to the exfoliation of a 90‐nm thick layer. Deuterium implantation leads to the formation of a thicker (∼100 nm) amorphous layer but inhibits exfoliation. (© 2009 WILEY‐VCH Verlag GmbH & Co. KGaA, Weinheim)
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Comment cette classification a été obtenuedéplier
Prédiction distillée sur la base complète
Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Apprise à partir de 10 348 étiquettes directes de Codex et de 10 348 étiquettes directes de Gemma. Le mode candidate est l'union des têtes enseignantes seuillées; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont ni des étiquettes humaines ni des étiquettes directes de modèles de pointe.
Scores Codex et Gemma par catégorie
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,001 | 0,001 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,002 | 0,000 |
| Bibliométrie | 0,000 | 0,001 |
| Études des sciences et des technologies | 0,000 | 0,001 |
| Communication savante | 0,000 | 0,001 |
| Science ouverte | 0,000 | 0,000 |
| Intégrité de la recherche | 0,000 | 0,001 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,000 | 0,000 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.
score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découleClassification
machine, non validéePrédiction automatique; un appel candidat d’une seule tête enseignante, pas un consensus.
Le détail, modèle par modèle et score par score, se trouve en fin de page sous « Comment cette classification a été obtenue ».