Thin film Ni-Si solid-state reactions: Phase formation sequence on amorphized Si
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Notice bibliographique
Résumé
The phase formation sequence during the thermally induced solid-state reaction of a 10-nm-thick magnetron-sputtered Ni film with a Si(001) substrate amorphized by ion implantation (a-Si) is investigated using a combination of in situ temperature-resolved x-ray diffraction and ex situ x-ray pole figure analyses, transmission electron microscopy, and Rutherford backscattering spectrometry. Our results reveal (1) that the metastable θ-phase grows from δ-Ni2Si and directly transforms into NiSi and (2) that cleaving the as-prepared, amorphized samples are often subject to a spontaneous reaction possibly resulting from cleaving. In the spontaneously reacted samples, a mixture of θ and NiSi is observed from the beginning of the thermal treatment. The θ phase exhibits a (110) fiber texture with a ±10° misorientation, which is then inherited by NiSi. The rest of the phase sequence is the same as for nonreacted samples, the NiSi2 growing from 390 °C if the amorphized Si is not completely consumed.
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Prédiction distillée sur la base complète
Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Apprise à partir de 10 348 étiquettes directes de Codex et de 10 348 étiquettes directes de Gemma. Le mode candidate est l'union des têtes enseignantes seuillées; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont ni des étiquettes humaines ni des étiquettes directes de modèles de pointe.
Scores Codex et Gemma par catégorie
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,001 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,001 | 0,000 |
| Bibliométrie | 0,001 | 0,001 |
| Études des sciences et des technologies | 0,001 | 0,001 |
| Communication savante | 0,000 | 0,001 |
| Science ouverte | 0,000 | 0,000 |
| Intégrité de la recherche | 0,000 | 0,000 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,000 | 0,000 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.
score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découle