3D Hybrid Integration Technology for Opto-Electronic Hetero-Integrated Systems
Notice bibliographique
Résumé
We developed a 3D hybrid integration technology of complementary metal oxide semiconductor (CMOS), micro electro mechanical systems (MEMS) and photonic circuits for opto-electronic hetero-integrated systems. The 3D opto-electronic multi-chip module comprising CMOS, MEMS, and photonic devices was fabricated by using 3D hybrid integration technology. The electrical chips of amplitude shift keying (ASK) LSI, LC filter and pressure-sensing MEMS were mounted on the electrical Si interposer with Cu through silicon vias (TSVs). The photonic chips of vertical-cavity surface-emitting laser (VCSEL) and photodiode (PD) were embedded into the optical Si interposer with an optical waveguide. The electrical and the optical interposers were precisely bonded together to form 3D opto-electronic multi-chip module. The photonics and electrical devices are communicated via Cu TSVs. The photonic devices were connected via an optical waveguide. Basic functions of CMOS, MEMS and photonic devices in the 3D opto-electronic multi-chip module were successfully evaluated.
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Comment cette classification a été obtenuedéplier
Prédiction distillée sur la base complète
Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Apprise à partir de 10 348 étiquettes directes de Codex et de 10 348 étiquettes directes de Gemma. Le mode candidate est l'union des têtes enseignantes seuillées; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont ni des étiquettes humaines ni des étiquettes directes de modèles de pointe.
Scores Codex et Gemma par catégorie
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,000 | 0,000 |
| Bibliométrie | 0,000 | 0,000 |
| Études des sciences et des technologies | 0,000 | 0,000 |
| Communication savante | 0,000 | 0,000 |
| Science ouverte | 0,000 | 0,000 |
| Intégrité de la recherche | 0,000 | 0,000 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,000 | 0,000 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.
score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découleClassification
machine, non validéePrédiction automatique; un appel candidat d’une seule tête enseignante, pas un consensus.
Le détail, modèle par modèle et score par score, se trouve en fin de page sous « Comment cette classification a été obtenue ».