Short channel vertical transistors with excellent saturation characteristics
Notice bibliographique
Résumé
The use of a vertical thin film transistor (VTFT) topology in the flat panel active matrix array, opens up a plethora of new high performance applications. The VTFT is small in footprint by virtue of its stacked layer configuration, in which channel lengths can be conveniently scaled down to nanometer regime without having to resort to photolithography as would otherwise be needed when scaling lateral TFTs. More importantly, the VTFT is also fully compatible to the materials and processes used in flat panel technology, takes making it amenable to large area scaling. In the VTFT, the source and drain electrodes are vertically stacked and separated by an intermediate insulator layer. The channel is formed on the vertical sidewall of the source/insulator/drain stack. Since the thickness of intermediate insulator layer defines the channel length, this can now be accurately controlled at the nanometer scale via the thickness of the insulator layer. While nanoscale channel length VTFTs in amorphous silicon (a-Si) have been demonstrated previously, one of the biggest issues was the lack of good saturation behavior at high drain voltages, which made reduction of the gate dielectric thickness mandatory. However, reducing the gate dielectric thickness leads to high gate leakage and early dielectric breakdown. This presentation is on short-channel VTFTs with excellent saturation characteristics, achieved by an ultra-thin silicon nitride (SiN <sub xmlns:mml="http://www.w3.org/1998/Math/MathML" xmlns:xlink="http://www.w3.org/1999/xlink">x</sub> ) gate dielectric using plasma-enhanced chemical vapor deposition (PECVD).
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Comment cette classification a été obtenuedéplier
Prédiction distillée sur la base complète
Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Apprise à partir de 10 348 étiquettes directes de Codex et de 10 348 étiquettes directes de Gemma. Le mode candidate est l'union des têtes enseignantes seuillées; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont ni des étiquettes humaines ni des étiquettes directes de modèles de pointe.
Scores Codex et Gemma par catégorie
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,000 | 0,000 |
| Bibliométrie | 0,000 | 0,000 |
| Études des sciences et des technologies | 0,000 | 0,000 |
| Communication savante | 0,000 | 0,000 |
| Science ouverte | 0,000 | 0,000 |
| Intégrité de la recherche | 0,000 | 0,000 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,000 | 0,000 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.
score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découleClassification
machine, non validéePrédiction automatique; un appel candidat d’une seule tête enseignante, pas un consensus.
Le détail, modèle par modèle et score par score, se trouve en fin de page sous « Comment cette classification a été obtenue ».