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Enregistrement W2082360686 · doi:10.1002/pssa.200790012

Review Article: Hydrogen blistering of silicon: Progress in fundamental understanding

2007· article· en· W2082360686 sur OpenAlexaffabout
B. Terreault

Notice bibliographique

Revuephysica status solidi (a) · 2007
Typearticle
Langueen
DomaineEngineering
ThématiqueThin-Film Transistor Technologies
Établissements canadiensInstitut National de la Recherche Scientifique
Organismes subventionnairesnon disponible
Mots-clésMicroelectronicsNanotechnologyEngineering physicsSiliconMaterials scienceSilicon on insulatorWaferTelecommunicationsOptoelectronicsEngineering

Résumé

récupéré en direct d'OpenAlex

Abstract The understanding of blistering mechanisms at the fundamental, atomic‐scale level is still not complete, but large strides towards that goal have been made in the last decade. In this issue's Review Article [1] Bernard Terreault gives a comprehensive survey of this progress, discussing the current questions as well as outlining suggestions for future work. The related cover picture shows atomic force micrographs of a variety of surface morphologies obtained by hydrogen ion implantation into silicon followed by rapid thermal annealing. In this particular case, the ions were implanted through PMMA masks of decreasing width (from left to right, 6 μm, 1 μm, 600 nm and 150 nm) [2]. This is but one application of blistering, the most common being ion‐cutting and layer transfer as used in the commercial production of silicon‐on‐insulator wafers. The author is Honorary retired Professor at the EMT (Energy, Materials, Telecom) Center of the Institut National de la Recherche Scientifique (Université du Québec). Another feature included in the current issue is the Editor's Choice contribution ‘Optical and micro‐analytical study of a copper–conjugated polymer composite’ by Kaushik Mallik et al. [3], where the authors investigate a nanoscale fiber network for potential application in microelectronic systems.

Récupéré en direct depuis OpenAlex et désinversé. Les résumés ne sont pas conservés dans cette base de données : les index inversés représentent 8,6 Go des 9,3 Go de texte de la base, et le serveur dispose de 13 Go libres.

Comment cette classification a été obtenuedéplier

Prédiction machine sur la base complète

Imitation des enseignants

Ni prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Le volet Gemma est une étiquette directe du modèle pour chaque travail de la base, lue sur la notice réduite au titre. Le volet Codex est un classifieur appris des 10 348 étiquettes directes de Codex et calibré sur les taux pondérés de l'échantillon; les champs sans appui suffisant ne portent aucun appel Codex. Le mode candidate est l'union des deux volets; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont pas des étiquettes humaines.

score de la tête « metaresearch » (Codex)0,001
score de la tête « metaresearch » (Gemma)0,001
Version: metacan-v3-hybrid-931329e0061cStatut de validation: machine_predicted_unvalidated
Catégories candidatesaucune
Catégories consensuellesaucune
DomaineSignal candidat: aucune · Signal consensuel: aucune
Devis d'étudeSignal candidat: Sans objet · Signal consensuel: Sans objet
GenreSignal candidat: Synthèse · Signal consensuel: Synthèse
Score de désaccord entre enseignants0,006
Score d'incertitude au seuil0,020

Scores du classifieur distillé par catégorie (deux têtes)

CatégorieCodexGemma
Métarecherche0,0010,001
Méta-épidémiologie (sens strict)0,0010,000
Méta-épidémiologie (sens large)0,0020,000
Bibliométrie0,0010,002
Études des sciences et des technologies0,0000,001
Communication savante0,0010,002
Science ouverte0,0020,001
Intégrité de la recherche0,0020,002
Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger)0,0060,004

Scores machine (provisoires)

Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.

Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.

Tête enseignante Opus0,033
Tête enseignante GPT0,276
Écart entre enseignants0,243 · la distance entre les deux têtes enseignantes sur ce seul travail
Statut de validationscore_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découle

Classification

machine, non validée

Prédiction automatique; un appel candidat d’une seule source (Gemma direct ou Codex distillé), pas un consensus.

Les modèles n’ont appliqué aucune catégorie : rien dans la taxonomie ne correspondait à ce travail.
Devis d'étudeSans objet
Domainenon disponible
GenreSynthèse

Le détail, modèle par modèle et score par score, se trouve en fin de page sous « Comment cette classification a été obtenue ».

En bref

Citations0
Publié2007
Routes d'admission2
Résumé présentoui

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