Review Article: Hydrogen blistering of silicon: Progress in fundamental understanding
Notice bibliographique
Résumé
Abstract The understanding of blistering mechanisms at the fundamental, atomic‐scale level is still not complete, but large strides towards that goal have been made in the last decade. In this issue's Review Article [1] Bernard Terreault gives a comprehensive survey of this progress, discussing the current questions as well as outlining suggestions for future work. The related cover picture shows atomic force micrographs of a variety of surface morphologies obtained by hydrogen ion implantation into silicon followed by rapid thermal annealing. In this particular case, the ions were implanted through PMMA masks of decreasing width (from left to right, 6 μm, 1 μm, 600 nm and 150 nm) [2]. This is but one application of blistering, the most common being ion‐cutting and layer transfer as used in the commercial production of silicon‐on‐insulator wafers. The author is Honorary retired Professor at the EMT (Energy, Materials, Telecom) Center of the Institut National de la Recherche Scientifique (Université du Québec). Another feature included in the current issue is the Editor's Choice contribution ‘Optical and micro‐analytical study of a copper–conjugated polymer composite’ by Kaushik Mallik et al. [3], where the authors investigate a nanoscale fiber network for potential application in microelectronic systems.
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Comment cette classification a été obtenuedéplier
Prédiction distillée sur la base complète
Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Apprise à partir de 10 348 étiquettes directes de Codex et de 10 348 étiquettes directes de Gemma. Le mode candidate est l'union des têtes enseignantes seuillées; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont ni des étiquettes humaines ni des étiquettes directes de modèles de pointe.
Scores Codex et Gemma par catégorie
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,000 | 0,000 |
| Bibliométrie | 0,000 | 0,000 |
| Études des sciences et des technologies | 0,000 | 0,000 |
| Communication savante | 0,000 | 0,000 |
| Science ouverte | 0,000 | 0,000 |
| Intégrité de la recherche | 0,000 | 0,000 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,000 | 0,000 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.
score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découleClassification
machine, non validéePrédiction automatique; un appel candidat d’une seule tête enseignante, pas un consensus.
Le détail, modèle par modèle et score par score, se trouve en fin de page sous « Comment cette classification a été obtenue ».