Silicon nanocrystal formation in silicon-rich silicon oxide thin films
Notice bibliographique
Résumé
Silicon rich silicon oxide thin films have been fabricated by electron cyclotron resonance plasma enhanced chemical vapor deposition. Following their deposition, these films were subjected to thermal anneals at temperatures up to 1100°C for times of up to 120 minutes. Annealing of the films causes a phase separation of the material to form Si precipitates, which nucleate to form Si nanocrystals, within an amorphous SiO<sub>2</sub> matrix. The nucleation of the nanocrystals was analyzed as a function of the composition of the films, as determined by Rutherford backscattering and elastic recoil detection analysis experiments, and the annealing conditions. The bonding structure of the films was analyzed using Fourier transform infrared spectroscopy. Surface morphology, including analysis of the size and distribution of the nanocrystals, was determined through the use of atomic force microscopy. Spectroscopic ellipsometry, in the range from 600 to 1100 nm, was used to examine the effects of the formation of nanocrystals on the optical properties, i.e., index of refraction and extinction coefficient, of the films. Photoluminescence spectra were used to show that due to quantum confinement effects the nanocrystals exhibit luminescence, making them a potential candidate for integrated photonic emitters.
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Comment cette classification a été obtenuedéplier
Prédiction distillée sur la base complète
Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Apprise à partir de 10 348 étiquettes directes de Codex et de 10 348 étiquettes directes de Gemma. Le mode candidate est l'union des têtes enseignantes seuillées; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont ni des étiquettes humaines ni des étiquettes directes de modèles de pointe.
Scores Codex et Gemma par catégorie
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,001 | 0,001 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,001 | 0,000 |
| Bibliométrie | 0,000 | 0,000 |
| Études des sciences et des technologies | 0,000 | 0,000 |
| Communication savante | 0,000 | 0,001 |
| Science ouverte | 0,001 | 0,000 |
| Intégrité de la recherche | 0,000 | 0,000 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,000 | 0,000 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.
score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découleClassification
machine, non validéePrédiction automatique; un appel candidat d’une seule tête enseignante, pas un consensus.
Le détail, modèle par modèle et score par score, se trouve en fin de page sous « Comment cette classification a été obtenue ».