Investigation of AlMe<sub>3</sub>, BEt<sub>3</sub>, and ZnEt<sub>2</sub>as Co-Reagents for Low-Temperature Copper Metal ALD/Pulsed-CVD
Notice bibliographique
Résumé
The reactions of AlMe 3, BEt 3, and ZnEt 2 with toluene solutions of the copper(II) complexes [CuL 2 ] {L = acetylacetonate (acac; 1 ), hexafluoroacetylacetonate (hfac; 2 ), N -isopropyl-β-ketiminate (acnac; 3 ), N, N -dimethyl-β-diketiminate (nacnac; 4 ), 2-pyrrolylaldehyde (PyrAld; 5 ), N -isopropyl-2-pyrrolylaldiminate (PyrIm i Pr; 6a ), N -ethyl-2-pyrrolylaldiminate (PyrIm Et; 6b ), and N -isopropyl-2-salicylaldiminate (IPSA; 7 )} were investigated, and most combinations were found to deposit metal films or metal powder at 50 °C or less. SEM and XPS of metal films deposited on ruthenium showed a range of morphologies and compositions, including pure copper (excluding oxygen content after atmospheric exposure). These nonaqueous solution screening studies provided a rapid and convenient means to identify the most promising [Cu II L 2 ] precursor/ER n co-reagent combinations for copper metal ALD/pulsed-CVD studies, and subsequent ALD/pulsed-CVD studies were performed using 6b in combination with AlMe 3, BEt 3 and ZnEt 2 . As in solution, the reactivity of these reagents (pulsed-CVD) followed the order ZnEt 2 ≈ AlMe 3 ≫ BEt 3 . Furthermore, at 120−150 °C, ZnEt 2 was used successfully to deposit smooth, conductive films composed of copper with 8−15% Zn. On the basis of CVD studies with ZnEt 2, zinc content appears to derive from a parasitic CVD process, which becomes more favorable above 120 °C, detracting from the goal of self-limiting deposition.
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Comment cette classification a été obtenuedéplier
Prédiction machine sur la base complète
Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Le volet Gemma est une étiquette directe du modèle pour chaque travail de la base, lue sur la notice réduite au titre. Le volet Codex est un classifieur appris des 10 348 étiquettes directes de Codex et calibré sur les taux pondérés de l'échantillon; les champs sans appui suffisant ne portent aucun appel Codex. Le mode candidate est l'union des deux volets; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont pas des étiquettes humaines.
Scores du classifieur distillé par catégorie (deux têtes)
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,000 | 0,000 |
| Bibliométrie | 0,000 | 0,000 |
| Études des sciences et des technologies | 0,000 | 0,000 |
| Communication savante | 0,000 | 0,000 |
| Science ouverte | 0,000 | 0,000 |
| Intégrité de la recherche | 0,000 | 0,000 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,000 | 0,000 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.
score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découleClassification
machine, non validéePrédiction automatique; un appel candidat d’une seule source (Gemma direct ou Codex distillé), pas un consensus.
Le détail, modèle par modèle et score par score, se trouve en fin de page sous « Comment cette classification a été obtenue ».