Investigation of AlMe<sub>3</sub>, BEt<sub>3</sub>, and ZnEt<sub>2</sub>as Co-Reagents for Low-Temperature Copper Metal ALD/Pulsed-CVD
Pourquoi ce travail est dans la base
Une base qui oublie comment elle a trouvé un travail ne peut pas être vérifiée. Voici les voies qui ont admis celui-ci.
Notice bibliographique
Résumé
The reactions of AlMe 3, BEt 3, and ZnEt 2 with toluene solutions of the copper(II) complexes [CuL 2 ] {L = acetylacetonate (acac; 1 ), hexafluoroacetylacetonate (hfac; 2 ), N -isopropyl-β-ketiminate (acnac; 3 ), N, N -dimethyl-β-diketiminate (nacnac; 4 ), 2-pyrrolylaldehyde (PyrAld; 5 ), N -isopropyl-2-pyrrolylaldiminate (PyrIm i Pr; 6a ), N -ethyl-2-pyrrolylaldiminate (PyrIm Et; 6b ), and N -isopropyl-2-salicylaldiminate (IPSA; 7 )} were investigated, and most combinations were found to deposit metal films or metal powder at 50 °C or less. SEM and XPS of metal films deposited on ruthenium showed a range of morphologies and compositions, including pure copper (excluding oxygen content after atmospheric exposure). These nonaqueous solution screening studies provided a rapid and convenient means to identify the most promising [Cu II L 2 ] precursor/ER n co-reagent combinations for copper metal ALD/pulsed-CVD studies, and subsequent ALD/pulsed-CVD studies were performed using 6b in combination with AlMe 3, BEt 3 and ZnEt 2 . As in solution, the reactivity of these reagents (pulsed-CVD) followed the order ZnEt 2 ≈ AlMe 3 ≫ BEt 3 . Furthermore, at 120−150 °C, ZnEt 2 was used successfully to deposit smooth, conductive films composed of copper with 8−15% Zn. On the basis of CVD studies with ZnEt 2, zinc content appears to derive from a parasitic CVD process, which becomes more favorable above 120 °C, detracting from the goal of self-limiting deposition.
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Prédiction distillée sur la base complète
Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Apprise à partir de 10 348 étiquettes directes de Codex et de 10 348 étiquettes directes de Gemma. Le mode candidate est l'union des têtes enseignantes seuillées; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont ni des étiquettes humaines ni des étiquettes directes de modèles de pointe.
Scores Codex et Gemma par catégorie
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,001 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,001 | 0,001 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,001 | 0,000 |
| Bibliométrie | 0,000 | 0,000 |
| Études des sciences et des technologies | 0,000 | 0,000 |
| Communication savante | 0,000 | 0,000 |
| Science ouverte | 0,000 | 0,000 |
| Intégrité de la recherche | 0,001 | 0,000 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,000 | 0,000 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.
score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découle