Fabrication of high performance GaN modulation doped field effect transistors
Notice bibliographique
Résumé
Fabrication of GaN devices presents a number of processing issues. Since the AlGaN/GaN material and sapphire substrates are transparent in the ultraviolet, light scattering can degrade the quality of the lithography. GaN and AlGaN are chemically inert materials, highly resistant to wet etching. Schottky contacts are fabricated with noble metals (Pt, Au) which present adhesion problems. The approaches to solving these difficulties and the routes to fabrication of high performance GaN-based modulation doped field effect transistors are presented. The light scattering has been addressed by the deposition of amorphous Si on the backside of the wafers. Mesa etching for device isolation has been performed with both chemically assisted ion beam etching and a newly developed wet etching technique. Finally, metal adhesion has been greatly improved by the initial deposition of a thin sputtered Pt layer, followed by a thick layer of Pt/Au by e-beam evaporation. A 100 μm wide device showed a maximum dc current density of 946 mA/mm, a peak transconductance of 160 mS/mm, a short circuit current gain cutoff frequency of 15.6 GHz, and a maximum oscillation frequency of 49.4 GHz.
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Comment cette classification a été obtenuedéplier
Prédiction distillée sur la base complète
Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Apprise à partir de 10 348 étiquettes directes de Codex et de 10 348 étiquettes directes de Gemma. Le mode candidate est l'union des têtes enseignantes seuillées; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont ni des étiquettes humaines ni des étiquettes directes de modèles de pointe.
Scores Codex et Gemma par catégorie
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,001 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,000 | 0,000 |
| Bibliométrie | 0,000 | 0,001 |
| Études des sciences et des technologies | 0,000 | 0,000 |
| Communication savante | 0,000 | 0,000 |
| Science ouverte | 0,000 | 0,000 |
| Intégrité de la recherche | 0,000 | 0,000 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,000 | 0,000 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.
score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découleClassification
machine, non validéePrédiction automatique; un appel candidat d’une seule tête enseignante, pas un consensus.
Le détail, modèle par modèle et score par score, se trouve en fin de page sous « Comment cette classification a été obtenue ».