Design, Fabrication, and Characteristics of a MEMS Micromirror With Sidewall Electrodes
Pourquoi ce travail est dans la base
Une base qui oublie comment elle a trouvé un travail ne peut pas être vérifiée. Voici les voies qui ont admis celui-ci.
Notice bibliographique
Résumé
This paper presents a 2-DOF silicon-on-insulator (SOI) microelectromechanical systems (MEMS) mirror with sidewall (SW) electrodes. The biaxial MEMS mirror with SW is actuated by electrostatic actuators. The dimension of mirror plate is 1000¿m × 1000¿m, with a thickness of 35 ¿m. The analytical modeling, fabrication process, and performance characteristics are described. This paper analyzes the effects of the three-end single crystal serpentine torsion bar width and the bottom and SW electrodes on the performance of the mirror. A new fabrication process based on SOI wafer, hybrid bulk/surface micromachined technology, and a high-aspect-ratio shadow mask is presented. In comparison to previous fabrication processes and the Optical iMEMS process, the process is novel, easily understood, and simple to realize. The measured maximum angular deflection achieved is ±11°(mechanical angle) at a static operating voltage and is ± 21°(mechanical angle) at resonance frequency driving. This mirror is well suited for applications where these characteristics are critical, such as in confocal or endoscopic scanning elements
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Prédiction distillée sur la base complète
Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Apprise à partir de 10 348 étiquettes directes de Codex et de 10 348 étiquettes directes de Gemma. Le mode candidate est l'union des têtes enseignantes seuillées; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont ni des étiquettes humaines ni des étiquettes directes de modèles de pointe.
Scores Codex et Gemma par catégorie
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,000 | 0,000 |
| Bibliométrie | 0,000 | 0,000 |
| Études des sciences et des technologies | 0,000 | 0,000 |
| Communication savante | 0,000 | 0,000 |
| Science ouverte | 0,000 | 0,000 |
| Intégrité de la recherche | 0,000 | 0,001 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,000 | 0,000 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.
score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découle