A novel micro-fabrication process for integration of Superconductor niobium-based RF circuits with gold-based RF MEMS devices
Notice bibliographique
Résumé
A novel 8-mask fabrication process for the integration of Low Temperature Superconducting (LTS) niobium (Nb) RF circuits with gold-based RF MEMS switches is proposed. A fixed and a tunable 3-pole bandpass filter (BPF) are fabricated implementing the new Nb-based fabrication process. The tunable BPF includes nine dc-contact RF MEMS switches. The center frequency of the tunable BPF shifts from 10 GHz to 9 GHz when the three switches that change the length of the resonators are in the `on' state and the other six are in the `off' state. The first version of the tunable BPF is all gold-based, which is measured at room temperature. The insertion loss of the all gold-based tunable BPF is close to 5.5 dB. The switches actuation voltage is around 32 V at room temperature. The fixed version of the BPF is fabricated using Nb as the lossless metal layer. Measurement of the fixed Nb-based BPF shows 4.4 dB improvement in the insertion loss at 4 K. The tunable version of the superconducting BPF is also fabricated and measured at 4 K. There is 1 GHz shift in the center frequency of the filter when the three RF MEMS switches are actuated. The actuation voltage of the gold-based RF MEMS switches at 4 K is about 48 V.
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Comment cette classification a été obtenuedéplier
Prédiction machine sur la base complète
Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Le volet Gemma est une étiquette directe du modèle pour chaque travail de la base, lue sur la notice réduite au titre. Le volet Codex est un classifieur appris des 10 348 étiquettes directes de Codex et calibré sur les taux pondérés de l'échantillon; les champs sans appui suffisant ne portent aucun appel Codex. Le mode candidate est l'union des deux volets; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont pas des étiquettes humaines.
Scores du classifieur distillé par catégorie (deux têtes)
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,000 | 0,000 |
| Bibliométrie | 0,000 | 0,000 |
| Études des sciences et des technologies | 0,000 | 0,000 |
| Communication savante | 0,000 | 0,000 |
| Science ouverte | 0,001 | 0,000 |
| Intégrité de la recherche | 0,000 | 0,000 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,001 | 0,000 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.
score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découleClassification
machine, non validéePrédiction automatique; un appel candidat d’une seule source (Gemma direct ou Codex distillé), pas un consensus.
Le détail, modèle par modèle et score par score, se trouve en fin de page sous « Comment cette classification a été obtenue ».