A new generation industrial machine for the plasma immersion ionimplantation and enhanced deposition
Pourquoi ce travail est dans la base
Une base qui oublie comment elle a trouvé un travail ne peut pas être vérifiée. Voici les voies qui ont admis celui-ci.
Notice bibliographique
Résumé
A new generation industrial machine for the plasma immersion ion implantation and enhanced deposition has been recently developed by Southwestern Institute of Physics. The vacuum chamber, 900 mm in diameter and 1050 mm in height, is constructed of stainless steel and stands vertically on a base support. Two 1400 L/m turbomolecular pumps and a 30 L/min mechanical pump can be controlled by PLC and bring the chamber to a base pressure of 4×10 4 Pa. Gaseous and metallic plasma can be independently produced by hot filaments discharge and three high efficiency filter vacuum arc plasma sources. There are water cooling target chuck and back flanges on the top of the vacuum chamber. The power modulator operates in both the pulse bunching and single pulse modes. The pulse voltage output is 10～80 kV, repetition frequency is 50～500 Hz,and the rise time of the pulse is less than 2 μs. In general, plasma density is 10 8～10 10 cm 3 , and film deposition rate is 0.1～0.5 nm/s. Some experimental results are also reported in the paper.
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Prédiction distillée sur la base complète
Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Apprise à partir de 10 348 étiquettes directes de Codex et de 10 348 étiquettes directes de Gemma. Le mode candidate est l'union des têtes enseignantes seuillées; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont ni des étiquettes humaines ni des étiquettes directes de modèles de pointe.
Scores Codex et Gemma par catégorie
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,000 | 0,000 |
| Bibliométrie | 0,000 | 0,000 |
| Études des sciences et des technologies | 0,000 | 0,000 |
| Communication savante | 0,000 | 0,000 |
| Science ouverte | 0,000 | 0,000 |
| Intégrité de la recherche | 0,000 | 0,000 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,000 | 0,000 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.
score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découle