Contactless non-destructive imaging of doping density and electrical resistivity of semiconductor Si wafers using lock-in carrierography
Pourquoi ce travail est dans la base
Une base qui oublie comment elle a trouvé un travail ne peut pas être vérifiée. Voici les voies qui ont admis celui-ci.
Notice bibliographique
Résumé
Abstract A contactless non-destructive imaging method for spatially resolved dopant concentration, [2.2] N d , and electrical resistivity, ρ , of n - and p -type silicon wafers using lock-in carrierography images at various laser irradiation intensities is presented. Amplitude and phase information from wafer sites with known resistivity was employed to derive a calibration factor for accurate determination of the absolute carrier generation rate. A frequency-domain model based on the nonlinear nature of photocarrier radiometric signals was used to extract dopant density images. Lateral variations in the resistivity of an n -type and a p -type wafer obtained by means of this methodology were found to be in excellent agreement with those obtained with conventional 4-point probe measurements. This all-optical contactless method can be used as a non-destructive tool for doping density and electrical resistivity measurements and their images over large semiconductor areas. N d , ρ and their variances can be measured and mapped for the photovoltaic, micro- and opto-electronic industries including on wafers with oxides or surface treated layers for which contacting electrical measurements are impossible.
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Prédiction distillée sur la base complète
Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Apprise à partir de 10 348 étiquettes directes de Codex et de 10 348 étiquettes directes de Gemma. Le mode candidate est l'union des têtes enseignantes seuillées; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont ni des étiquettes humaines ni des étiquettes directes de modèles de pointe.
Scores Codex et Gemma par catégorie
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,001 | 0,000 |
| Bibliométrie | 0,002 | 0,003 |
| Études des sciences et des technologies | 0,000 | 0,003 |
| Communication savante | 0,000 | 0,000 |
| Science ouverte | 0,000 | 0,000 |
| Intégrité de la recherche | 0,000 | 0,000 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,000 | 0,000 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.
score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découle