On the fabrication of thin-film artificial metal grid resonator antenna arrays using deep x-ray Lithography
Notice bibliographique
Résumé
Abstract In this paper, a unique microfabrication approach for designing high permittivity, high gain and wideband thin-film artificial metal grid dielectric resonator antenna (GDRA) arrays for mm-wave applications is presented. Fabrication of the GDRAs with a strip template frame is based on deep-x-ray lithography (DXRL) using a 500 µ m thick polymethylmethacrylate (PMMA) layer as the photoresist. The simple low-cost fabricated DXRL mask for exposure consisted of gold absorbers patterned by direct-write ultraviolet (UV) laser lithography on a carbon substrate. To avoid the trapping of gas bubbles in the dense, high aspect ratio (HAR) deep grid structures, a novel development approach was introduced utilizing in-vacuum, room temperature dip development to facilitate the collapse of forming gas bubbles. The developed voids were subsequently electroplated to a nickel thickness of 300 µ m to obtain high permittivity artificial dielectrics. The paper describes the entire fabrication sequence. Also, the x-ray mask and DXRL structures are examined for dimensional accuracy and structural quality. This strip template frame approach has superior performance in terms of impedance bandwidth, gain and radiation efficiency as compared to the previously published solid template frame approach. For the purpose of the demonstration, a four-element GDRA array sample was fabricated and tested. A wide measured impedance bandwidth of 5 GHz from 58 GHz to 63 GHz and measured broadside radiation pattern with a peak gain of 10.9 dBi was achieved.
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Comment cette classification a été obtenuedéplier
Prédiction distillée sur la base complète
Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Apprise à partir de 10 348 étiquettes directes de Codex et de 10 348 étiquettes directes de Gemma. Le mode candidate est l'union des têtes enseignantes seuillées; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont ni des étiquettes humaines ni des étiquettes directes de modèles de pointe.
Scores Codex et Gemma par catégorie
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,000 | 0,000 |
| Bibliométrie | 0,000 | 0,000 |
| Études des sciences et des technologies | 0,000 | 0,000 |
| Communication savante | 0,000 | 0,000 |
| Science ouverte | 0,000 | 0,000 |
| Intégrité de la recherche | 0,000 | 0,000 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,000 | 0,000 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.
score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découleClassification
machine, non validéePrédiction automatique; un appel candidat d’une seule tête enseignante, pas un consensus.
Le détail, modèle par modèle et score par score, se trouve en fin de page sous « Comment cette classification a été obtenue ».