Design and characterization of compact digital RF MEMS capacitors and phase shifters in CMOS 0.35 <i>µ</i> m technology
Notice bibliographique
Résumé
Abstract This work reports on the design, fabrication and characterization of compact digital RF MEMS capacitors and phase shifters that are built in the back end of line (BEOL) of CMOS 0.35 µ m technology. The devices are micromachined using a maskless post-processing sequence with cryogenic cooling on to control the out-of-plane warping of the metal-oxide structural layers. The implemented vertical electrostatic actuation in the developed post process allows the realization of highly compact designs of both devices, and an operating voltage of the devices is stay below 70 V. The 4-bit capacitors provide a measured tuning ratio close to 10:1 which corresponds to 0.15 pF to 1.2 pF over the frequency range 3–10 GHz. The overall footprint of the digital capacitor is 0.6 mm × 0.9 mm. The measured quality factor after de-embedding the losses due to the RF probing pads is up to 120. The measurement of the 4-bit phase shifters reveals low insertion loss <3 dB at 20 GHz along with low variation of the insertion loss <1 dB up to the same frequency. The measured phase shift is 150 at 20 GHz. The overall footprint of the 4-bit phase shifter is around 1 mm × 1 mm.
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Comment cette classification a été obtenuedéplier
Prédiction machine sur la base complète
Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Le volet Gemma est une étiquette directe du modèle pour chaque travail de la base, lue sur la notice réduite au titre. Le volet Codex est un classifieur appris des 10 348 étiquettes directes de Codex et calibré sur les taux pondérés de l'échantillon; les champs sans appui suffisant ne portent aucun appel Codex. Le mode candidate est l'union des deux volets; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont pas des étiquettes humaines.
Scores du classifieur distillé par catégorie (deux têtes)
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,000 | 0,001 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,000 | 0,000 |
| Bibliométrie | 0,000 | 0,000 |
| Études des sciences et des technologies | 0,000 | 0,000 |
| Communication savante | 0,001 | 0,001 |
| Science ouverte | 0,001 | 0,000 |
| Intégrité de la recherche | 0,001 | 0,000 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,001 | 0,000 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.
score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découleClassification
machine, non validéePrédiction automatique; un appel candidat d’une seule source (Gemma direct ou Codex distillé), pas un consensus.
Le détail, modèle par modèle et score par score, se trouve en fin de page sous « Comment cette classification a été obtenue ».