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Enregistrement W3087764137 · doi:10.1149/09807.0117ecst

Influence of Glass Surface Modification on Thin Film Copper Electrodes

2020· article· en· W3087764137 sur OpenAlex

Pourquoi ce travail est dans la base

Une base qui oublie comment elle a trouvé un travail ne peut pas être vérifiée. Voici les voies qui ont admis celui-ci.

affAu moins un auteur déclare une institution canadienne dans l'instantané OpenAlex épinglé.

Notice bibliographique

RevueECS Transactions · 2020
Typearticle
Langueen
DomaineMaterials Science
ThématiqueCopper Interconnects and Reliability
Établissements canadiensResearch & Development Corporation
Organismes subventionnairesnon disponible
Mots-clésMaterials scienceCopperComposite materialMicrostructureTransmission electron microscopySheet resistanceSurface modificationElectrodeHydrofluoric acidScanning electron microscopeMicrofabricationLayer (electronics)MetallurgyNanotechnologyChemical engineeringChemistry

Résumé

récupéré en direct d'OpenAlex

We investigate the impact of the glass surface on the structural and electrical properties of Ti/Cu film stacks as well as single Ti adhesion layer, by modifying Corning® Eagle XG® glass surfaces using four acids common in TFT-LCD microfabrication processes. Atomic force microscopy results indicate significant change of the surface topography of Ti and Cu, particularly found on hydrofluoric acid treated glass surfaces. The film microstructures are characterized by a comprehensive analysis using Bragg, grazing incidence and in-plane X-ray diffraction, and X-ray reflectivity methods as well as the transmission electron microscopy. The sheet resistance was measured using the four-point probe method. We demonstrate the role of the glass surface state through its impact on the structural and electrical properties of Ti/Cu electrodes emanating from glass surface treatments.

Récupéré en direct depuis OpenAlex et désinversé. Les résumés ne sont pas conservés dans cette base de données : les index inversés représentent 8,6 Go des 9,3 Go de texte de la base, et le serveur dispose de 13 Go libres.

Prédiction distillée sur la base complète

Imitation des enseignants

Ni prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Apprise à partir de 10 348 étiquettes directes de Codex et de 10 348 étiquettes directes de Gemma. Le mode candidate est l'union des têtes enseignantes seuillées; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont ni des étiquettes humaines ni des étiquettes directes de modèles de pointe.

score de la tête « metaresearch » (Codex)0,000
score de la tête « metaresearch » (Gemma)0,000
Version: codex-gemma-dda1882f352aStatut de validation: machine_predicted_unvalidated
Catégories candidatesaucune
Catégories consensuellesaucune
DomaineSignal candidat: aucune · Signal consensuel: aucune
Devis d'étudeSignal candidat: Expérimental (laboratoire) · Signal consensuel: Expérimental (laboratoire)
GenreSignal candidat: Empirique · Signal consensuel: Empirique
Score de désaccord entre enseignants0,382
Score d'incertitude au seuil0,427

Scores Codex et Gemma par catégorie

CatégorieCodexGemma
Métarecherche0,0000,000
Méta-épidémiologie (sens strict)0,0000,000
Méta-épidémiologie (sens large)0,0000,000
Bibliométrie0,0000,000
Études des sciences et des technologies0,0000,000
Communication savante0,0000,000
Science ouverte0,0000,000
Intégrité de la recherche0,0000,000
Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger)0,0000,000

Scores machine (provisoires)

Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.

Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.

Tête enseignante Opus0,022
Tête enseignante GPT0,259
Écart entre enseignants0,237 · la distance entre les deux têtes enseignantes sur ce seul travail
Statut de validationscore_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découle