High aspect ratio sapphire micromachining by ultraviolet laser‐induced plasma‐assisted ablation (LIPAA)
Pourquoi ce travail est dans la base
Une base qui oublie comment elle a trouvé un travail ne peut pas être vérifiée. Voici les voies qui ont admis celui-ci.
Notice bibliographique
Résumé
Abstract The ultraviolet laser‐induced plasma‐assisted ablation performed in this article can attain deep and high‐quality engravings in sapphire without necessitating volatile solutions or expensive equipment such as high‐power ultrashort‐pulsed lasers. The dominant mechanism of ablation is discovered to be from the direct ablation of excited sapphire surfaces and not from the plasma generated from the target material. Only an initial deposition from the target is needed to initiate the direct ablation. Note that 20‐µm wide, 30‐µm deep channel and hole features with a surface roughness (Sa) of .65 µm are achieved at an etching rate of .3 µm per pulse without the need for extensive cleaning. Engravings can reach up to 150‐µm depths at a maximum tapering angle of 5° until the shrinking absorbent surface vanishes, and 500‐µm wide 430‐µm deep topside through‐cutting is achieved. This study characterizes the morphology of direct laser ablation of transient absorbent sapphire surfaces. This method demonstrates the potential for the low‐cost rapid engraving of high aspect ratio features in transparent sapphire substrates.
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Prédiction distillée sur la base complète
Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Apprise à partir de 10 348 étiquettes directes de Codex et de 10 348 étiquettes directes de Gemma. Le mode candidate est l'union des têtes enseignantes seuillées; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont ni des étiquettes humaines ni des étiquettes directes de modèles de pointe.
Scores Codex et Gemma par catégorie
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,000 | 0,000 |
| Bibliométrie | 0,001 | 0,000 |
| Études des sciences et des technologies | 0,000 | 0,000 |
| Communication savante | 0,000 | 0,000 |
| Science ouverte | 0,001 | 0,000 |
| Intégrité de la recherche | 0,000 | 0,001 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,000 | 0,000 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.
score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découle