High aspect ratio sapphire micromachining by ultraviolet laser‐induced plasma‐assisted ablation (LIPAA)
Notice bibliographique
Résumé
Abstract The ultraviolet laser‐induced plasma‐assisted ablation performed in this article can attain deep and high‐quality engravings in sapphire without necessitating volatile solutions or expensive equipment such as high‐power ultrashort‐pulsed lasers. The dominant mechanism of ablation is discovered to be from the direct ablation of excited sapphire surfaces and not from the plasma generated from the target material. Only an initial deposition from the target is needed to initiate the direct ablation. Note that 20‐µm wide, 30‐µm deep channel and hole features with a surface roughness (Sa) of .65 µm are achieved at an etching rate of .3 µm per pulse without the need for extensive cleaning. Engravings can reach up to 150‐µm depths at a maximum tapering angle of 5° until the shrinking absorbent surface vanishes, and 500‐µm wide 430‐µm deep topside through‐cutting is achieved. This study characterizes the morphology of direct laser ablation of transient absorbent sapphire surfaces. This method demonstrates the potential for the low‐cost rapid engraving of high aspect ratio features in transparent sapphire substrates.
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Comment cette classification a été obtenuedéplier
Prédiction machine sur la base complète
Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Le volet Gemma est une étiquette directe du modèle pour chaque travail de la base, lue sur la notice réduite au titre. Le volet Codex est un classifieur appris des 10 348 étiquettes directes de Codex et calibré sur les taux pondérés de l'échantillon; les champs sans appui suffisant ne portent aucun appel Codex. Le mode candidate est l'union des deux volets; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont pas des étiquettes humaines.
Scores du classifieur distillé par catégorie (deux têtes)
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,000 | 0,000 |
| Bibliométrie | 0,000 | 0,000 |
| Études des sciences et des technologies | 0,000 | 0,000 |
| Communication savante | 0,000 | 0,000 |
| Science ouverte | 0,000 | 0,000 |
| Intégrité de la recherche | 0,000 | 0,000 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,001 | 0,000 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.
score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découleClassification
machine, non validéePrédiction automatique; un appel candidat d’une seule source (Gemma direct ou Codex distillé), pas un consensus.
Le détail, modèle par modèle et score par score, se trouve en fin de page sous « Comment cette classification a été obtenue ».