Fabrication of hollow silicon microneedles using grayscale lithography and deep reactive ion etching
Notice bibliographique
Résumé
Microneedles are a promising technology for drug delivery. They are minimally invasive, painless, and easy to use for various applications. In this paper, a process for fabricating hollow microneedles on a silicon substrate using maskless direct writing grayscale lithography and deep reactive ion etching (DRIE) is investigated. During the process, two approaches are employed to smoothen the needle tip and reduce the roughness of the needle bevel. First, a grayscale lithography process is used to create a 3D photoresist structure with discrete height steps. This structure is then transferred into silicon using DRIE. An SF6 isotropic etching process is utilized to create a smooth surface on the upper portion of microneedles by smoothing out the steplike structures. Alternatively, after grayscale lithography, resist thermal reflow is used to smooth out the resist structures. The resist patterns are then transferred into silicon microneedles using the DRIE technique. The morphology of the microneedles can be adjusted by varying the etching selectivity of silicon over the resist. Hollow microneedles with a height of 360 μm are produced, which offers numerous practical applications.
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Comment cette classification a été obtenuedéplier
Prédiction distillée sur la base complète
Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Apprise à partir de 10 348 étiquettes directes de Codex et de 10 348 étiquettes directes de Gemma. Le mode candidate est l'union des têtes enseignantes seuillées; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont ni des étiquettes humaines ni des étiquettes directes de modèles de pointe.
Scores Codex et Gemma par catégorie
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,002 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,000 | 0,000 |
| Bibliométrie | 0,002 | 0,001 |
| Études des sciences et des technologies | 0,001 | 0,002 |
| Communication savante | 0,000 | 0,001 |
| Science ouverte | 0,000 | 0,000 |
| Intégrité de la recherche | 0,000 | 0,001 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,000 | 0,000 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.
score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découleClassification
machine, non validéePrédiction automatique; un appel candidat d’une seule tête enseignante, pas un consensus.
Le détail, modèle par modèle et score par score, se trouve en fin de page sous « Comment cette classification a été obtenue ».