Rapid nucleation of ZnO on MoS<sub>2</sub> and WS<sub>2</sub> using an atmospheric-pressure spatial atomic layer deposition system
Notice bibliographique
Résumé
Abstract Uniform deposition of metal oxides on 2D materials, while preserving their structural integrity, is a crucial step to realize the integration of 2D materials in practical devices. In this study, we demonstrate the rapid nucleation of ZnO using atmospheric-pressure spatial chemical vapor deposition (AP-SCVD) on 2D transition metal dichalcogenides MoS2 and WS2. The high precursor partial pressure and uniform precursor delivery afforded by the AP-SCVD process, as compared to conventional atomic layer deposition (ALD), led to rapid ZnO nucleation on both CVD-grown MoS2 and WS2 in as little as 5 AP-SCVD oscillations and complete film closure was achieved on CVD-grown WS2 flakes in less than 60 AP-SCVD oscillations. The ZnO nuclei formed larger interconnected clusters on MoS2, whereas more-isolated islands were formed on the WS2. Raman and photoluminescence (PL) spectroscopy revealed that AP-SCVD is a benign process that does not damage the underlying 2D materials and rather helps to passivate defects via oxygen/water adsorption from the air, when performed in an appropriate temperature window. Deposition of the ZnO was found to impact the optical and structural properties of CVD-grown MoS2 and WS2 differently. For the MoS2–ZnO heterostructure, electron doping and strain dominate, resulting in a reduction in the PL of MoS2, whereas for the WS2–ZnO, strain and dielectric screening have a larger impact, resulting in an enhanced PL.
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Comment cette classification a été obtenuedéplier
Prédiction machine sur la base complète
Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Le volet Gemma est une étiquette directe du modèle pour chaque travail de la base, lue sur la notice réduite au titre. Le volet Codex est un classifieur appris des 10 348 étiquettes directes de Codex et calibré sur les taux pondérés de l'échantillon; les champs sans appui suffisant ne portent aucun appel Codex. Le mode candidate est l'union des deux volets; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont pas des étiquettes humaines.
Scores du classifieur distillé par catégorie (deux têtes)
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,000 | 0,000 |
| Bibliométrie | 0,000 | 0,000 |
| Études des sciences et des technologies | 0,000 | 0,000 |
| Communication savante | 0,000 | 0,000 |
| Science ouverte | 0,000 | 0,000 |
| Intégrité de la recherche | 0,000 | 0,000 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,001 | 0,000 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.
score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découleClassification
machine, non validéePrédiction automatique; un appel candidat d’une seule source (Gemma direct ou Codex distillé), pas un consensus.
Le détail, modèle par modèle et score par score, se trouve en fin de page sous « Comment cette classification a été obtenue ».