Interpolating Control for Precision Positioning affected by pre-sliding Friction
Notice bibliographique
Résumé
For wafer inspection, an X-Y stage is used to position the wafer under a probe, such as X-ray or similar, with an accuracy of tens of nano-meters or less. The point-to-point movement typically consists of three phases: “move” when the position is controlled to follow a so-called S-curve, “settle” when the position is made to enter the convergence window, and “idle” when residual vibrations are damped and the position reaches the set-point with required accuracy. The “move” and “settle” plants are characterized by double-integrator dynamics with viscous and Coulomb friction, and the “idle” plant by pre-sliding friction dynamics that can be modeled as one or more mass-spring-damper systems. Taking into account high-frequency parasitic resonances and anti-resonances, non-linearities, and uncertainties, it is in general difficult, or impossible, to design one linear regulator for all three phases. Hence, one regulator is generally applied for “move” and “settle”, and another one for the ”idle” phase. The problem of switching between the regulators, preferably in a bump-less way in order not to evoke the parasitic resonances, has been treated in an ad-hoc manner in the literature and in industrial practice. Here, we suggest bump-less transfer between the regulators based on interpolating control, using a recent, simple friction model that includes pre-sliding.
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Comment cette classification a été obtenuedéplier
Prédiction machine sur la base complète
Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Le volet Gemma est une étiquette directe du modèle pour chaque travail de la base, lue sur la notice réduite au titre. Le volet Codex est un classifieur appris des 10 348 étiquettes directes de Codex et calibré sur les taux pondérés de l'échantillon; les champs sans appui suffisant ne portent aucun appel Codex. Le mode candidate est l'union des deux volets; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont pas des étiquettes humaines.
Scores du classifieur distillé par catégorie (deux têtes)
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,001 | 0,002 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,001 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,001 | 0,001 |
| Bibliométrie | 0,000 | 0,000 |
| Études des sciences et des technologies | 0,000 | 0,001 |
| Communication savante | 0,001 | 0,001 |
| Science ouverte | 0,001 | 0,001 |
| Intégrité de la recherche | 0,001 | 0,002 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,002 | 0,000 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.
score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découleClassification
machine, non validéePrédiction automatique; un appel candidat d’une seule source (Gemma direct ou Codex distillé), pas un consensus.
Le détail, modèle par modèle et score par score, se trouve en fin de page sous « Comment cette classification a été obtenue ».