Interpolating Control for Precision Positioning affected by pre-sliding Friction
Pourquoi ce travail est dans la base
Une base qui oublie comment elle a trouvé un travail ne peut pas être vérifiée. Voici les voies qui ont admis celui-ci.
Notice bibliographique
Résumé
For wafer inspection, an X-Y stage is used to position the wafer under a probe, such as X-ray or similar, with an accuracy of tens of nano-meters or less. The point-to-point movement typically consists of three phases: “move” when the position is controlled to follow a so-called S-curve, “settle” when the position is made to enter the convergence window, and “idle” when residual vibrations are damped and the position reaches the set-point with required accuracy. The “move” and “settle” plants are characterized by double-integrator dynamics with viscous and Coulomb friction, and the “idle” plant by pre-sliding friction dynamics that can be modeled as one or more mass-spring-damper systems. Taking into account high-frequency parasitic resonances and anti-resonances, non-linearities, and uncertainties, it is in general difficult, or impossible, to design one linear regulator for all three phases. Hence, one regulator is generally applied for “move” and “settle”, and another one for the ”idle” phase. The problem of switching between the regulators, preferably in a bump-less way in order not to evoke the parasitic resonances, has been treated in an ad-hoc manner in the literature and in industrial practice. Here, we suggest bump-less transfer between the regulators based on interpolating control, using a recent, simple friction model that includes pre-sliding.
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Prédiction distillée sur la base complète
Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Apprise à partir de 10 348 étiquettes directes de Codex et de 10 348 étiquettes directes de Gemma. Le mode candidate est l'union des têtes enseignantes seuillées; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont ni des étiquettes humaines ni des étiquettes directes de modèles de pointe.
Scores Codex et Gemma par catégorie
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,000 | 0,000 |
| Bibliométrie | 0,000 | 0,000 |
| Études des sciences et des technologies | 0,000 | 0,000 |
| Communication savante | 0,000 | 0,000 |
| Science ouverte | 0,000 | 0,000 |
| Intégrité de la recherche | 0,000 | 0,000 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,000 | 0,000 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.
score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découle