Development of thin Film Piezoelectric Aluminum Nitride on Stainless Steel Substrates
Notice bibliographique
Résumé
Textured thin film sputter deposited Aluminum Nitride (AlN) is widely used as a piezoelectric material for energy harvesting applications. However, it is typically deposited onto single crystal silicon substrates. This paper reports for the first time the deposition of piezoelectric AlN onto stainless steel (SS) substrates which can be advantageous for energy harvesters due to its mechanical properties. The study investigated using three types of SS (17-4, 420, and 304) and compared the results to AlN on Si. Piezoelectric properties (d<inf xmlns:mml="http://www.w3.org/1998/Math/MathML" xmlns:xlink="http://www.w3.org/1999/xlink">33,f</inf>) of 3.79 pC/N and 5.21 pC/N were measured for AlN on 304 SS and Si substrates respectively. The piezoelectric properties and crystallinity were highly dependent on the surface roughness of the SS. Output voltage power from a tapping test demonstrated a peak-to-peak voltage of 3.62 V and 4.6 V for AlN/SS and AlN/Si films.
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Comment cette classification a été obtenuedéplier
Prédiction distillée sur la base complète
Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Apprise à partir de 10 348 étiquettes directes de Codex et de 10 348 étiquettes directes de Gemma. Le mode candidate est l'union des têtes enseignantes seuillées; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont ni des étiquettes humaines ni des étiquettes directes de modèles de pointe.
Scores Codex et Gemma par catégorie
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,001 | 0,001 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,001 | 0,000 |
| Bibliométrie | 0,001 | 0,002 |
| Études des sciences et des technologies | 0,000 | 0,000 |
| Communication savante | 0,000 | 0,000 |
| Science ouverte | 0,001 | 0,000 |
| Intégrité de la recherche | 0,001 | 0,001 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,000 | 0,000 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.
score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découleClassification
machine, non validéePrédiction automatique; un appel candidat d’une seule tête enseignante, pas un consensus.
Le détail, modèle par modèle et score par score, se trouve en fin de page sous « Comment cette classification a été obtenue ».